广川科技等取得具有晶圆偏移检测的机械手专利
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金融界2025年8月21日动静,国度学问产权局消息显示,上海广川科技无限公司、北方集成电手艺立异核心()无限公司取得一项名为“一种具有晶圆偏移检测的机械手”的专利,授权通知布告号CN223236343U,申请日期为2024年08月。
北方集成电手艺立异核心()无限公司,位于市,是一家以处置软件和消息手艺办事业为从的企业。企业注册本钱20000万人平易近币。通过天眼查大数据阐发,北方集成电手艺立异核心()无限公司参取招投标项目22次,财富线条,此外企业还具有行政许可125个。
专利摘要显示,本适用新型供给了一种具有晶圆偏移检测的机械手,其包罗:手指件、第一臂架、第一调理组件、反射传感器、第二臂架、第二调理组件,此中所述第一臂架取第二臂架相叠设置,所述手指件尾端两侧延长有支持臂,以正在所述支持臂之间定义出检测口,各所述手指件经支持臂别离毗连正在第一、第二臂架前端,所述反射传感器经第一、第二调理组件别离毗连正在第一、第二臂架上,并分布于各层手指件的检测口内及各支持臂的外侧处,此中各反射传感器的探测部,第二调理组件调整至取预设外圆尺寸相切的轨迹上。籍此以实现晶圆偏移检测的同时?。 |
